style="width:3.16004in;height:1.84008in" />PSi— 本文是学习GB-T 12963-2014 电子级多晶硅. 而整理的学习笔记,分享出来希望更多人受益,如果存在侵权请及时联系我们
本标准规定了多晶硅的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、储存、质量证明书和订货单
(或合同)内容。
本标准适用于以氯硅烷、硅烷制得的多晶硅。
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 1550 非本征半导体材料导电类型测试方法
GB/T 1551 硅单晶电阻率测定方法
GB/T 1553 硅和锗体内少数载流子寿命测定光电导衰减法
GB/T 1557 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
GB/T 1558 硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法
GB/T 4059 硅多晶气氛区熔基磷检验方法
GB/T 4060 硅多晶真空区熔基硼检验方法
GB/T 4061 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法
GB/T 13389 掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程
GB/T 14264 半导体材料术语
GB/T 24574 硅单晶中Ⅲ-V 族杂质的光致发光测试方法
GB/T 24581 低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中Ⅲ、V
族杂质含量的测试方法
GB/T 24582 酸浸取-电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质
GB/T14264 界定的术语和定义适用于本文件。
4.1.1 电子级多晶硅的牌号表示为：
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阿拉伯数字表示多晶硅等级
多晶硅形状，I 为棒状，N 为块状
多晶硅
4.1.2 电子级多晶硅按外形分为块状多晶硅和棒状多晶硅，根据导电类型分为 N
型和 P 型，根据纯度
GB/T 12963—2014
的差别分为3级。
电子级多晶硅的等级及相关技术指标应符合表1的规定。
表 1 电子级多晶硅等级及技术要求
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4.3.1 块状多晶硅具有无规则的形状和随机尺寸分布，其线性尺寸最小为6
mm, 最大为150 mm。
4.3.2 块状多晶硅的尺寸分布范围应满足：
a) 6 mm～25 mm 的最多占重量的15%;
b) 25 mm～50 mm 的占重量的15%～35%;
c) 50 mm～150 mm 的最少占重量的65%。
4.3.3 块状多晶硅的具体尺寸要求可由供需双方协商确定。
4.3.4 棒状多晶硅的直径及长度由供需双方协商确定，其直径允许偏差≤5%。
多晶硅应无氧化夹层。
4.5.1 多晶硅表面结构应致密、平整(断面边缘颗粒不大于3 mm)。
4.5.2 多晶硅的外观应无色斑、变色及可见的污染物。
5.1 多晶硅导电类型检验按 GB/T 1550 的规定进行。
GB/T 12963—2014
5.2 多晶硅中的施主杂质浓度、受主杂质浓度的测试按 GB/T 24574、GB/T
24581或 GB/T 13389 的 规定进行。
5.3 多晶硅少数载流子寿命测试按 GB/T1553 的规定进行。
5.4 多晶硅中碳浓度测试按GB/T 1558、GB/T 24581 的规定进行。
5.5 多晶硅中氧浓度测试按GB/T 1557 的规定进行。
5.6 多晶硅基体金属杂质浓度的测试方法由供需双方协商确定。
5.7 多晶硅表面金属杂质浓度的测试按GB/T 24582 的规定进行。
5.8 多晶硅基磷电阻率检验按GB/T 4059 的规定进行。
5.9 多晶硅基硼电阻率检验按GB/T 4060 的规定进行。
5.10
块状多晶硅、棒状多晶硅的尺寸及允许偏差用相应精度的量具测量，或由供需双方商定的方法
检验。
5.11 多晶硅氧化夹层的检验按 GB/T 4061 的规定进行。
6.1.1
产品应由供方质量监督部门进行检验，保证产品质量符合本标准及合同的规定，并填写产品质
量证明书。
6.1.2
需方可对收到的产品进行检验。若检验结果与本标准或合同的规定不符时，应在收到产品之日
起3个月内向供方提出，由供需双方协商解决。
产品应成批提交验收，每批应有同一牌号、具有相同纯度等级和特性，以类似工艺生产并可追溯生
产条件的同一反应炉次的多晶硅组成。
每批产品应进行施主杂质浓度、受主杂质浓度、碳浓度、氧浓度、尺寸及允许偏差、结构、外观质量的
检验。导电类型、少数载流子寿命、电阻率、基体金属杂质浓度、表面金属杂质浓度的检验由供需双方
协商。
6.4.1 供方取样、制样时，基磷电阻率、基硼电阻率的取样、制样按 GB/T
4059 、GB/T 4060 进行，断面 氧化夹层取样、制样按GB/T
4061进行。仲裁抽样方案由供需双方商定。
6.4.2
导电类型、施主杂质浓度、受主杂质浓度、少数载流子寿命、碳浓度、氧浓度、尺寸及允许偏差、外
观质量、基体金属杂质含量、表面金属杂质含量的取样由供需双方协商确定。
6.5.1
多晶硅的等级由施主杂质浓度、受主杂质浓度、碳浓度、氧浓度、表面金属杂质浓度、基体金属杂
质浓度判定。在判定项目中若检验结果有一项不合格，则加倍取样对该不合格的项目进行重复试验。
对重复试验结果仍不合格的产品，则判该批产品不合格。
6.5.2
导电类型、少数载流子寿命、电阻率、尺寸及允许偏差、结构、外观质量检验结果的判定由供需双
方协商确定。
GB/T 12963—2014
7 标志、包装、运输、贮存及质量证明书
包装箱外应标有"小心轻放"及"防腐、防潮"字样或标志、并说明：
a) 需方名称；
b) 产品名称、牌号；
c) 产品发货件数、净重；
d) 供方名称。
多晶硅经过洁净处理后，装入高纯洁净的聚乙烯包装袋内，密封。包装时应防止聚乙烯包装袋破
损，以避免产品外来沾污，并按最佳方法提供良好保护，装入外包装箱。多晶硅的包装也可由供需双方
协商决定。
产品在运输过程中应轻装轻卸，勿压勿挤，并采取防震措施。
产品应贮存在清洁、干燥环境中。
每批产品应附有质量证明书，其上注明：
a) 供方名称；
b) 产品名称及牌号；
c) 产品批号；
d) 产品毛重、净重；
e) 各项检验结果及检验部门印记；
f) 本标准编号；
g) 出厂日期。
订购本标准所规范产品的订货单内应包括下列内容：
a) 产品名称、牌号；
b) 本标准编号；
c) 本标准中由供需双方协商的内容；
d) 其他。
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